超声波清洗机的结构一般有超声电源和清洗器合为一体或分开布局两种形式，一般小功率（200W以下）清洗机用一体式结构，而大功率清洗机采用分体式结构。

超声波清洗机分体式结构由三个主要部分组成（1）清洗缸；（2）超声波发生器；（3）超声波换能器。

清洗缸：清洗缸是用来装载清洗液及被清洗工件的不锈钢容器，大多数工件可先装在网状框架内，再一起放人缸内清洗。

超声波发生器：超声清洗机用的超声波发生器，从使用的元器件种类可以分电子管式的，可控硅式的和晶体管式的。近几年来已经发展到用大功率“功率模块”的方式。其输出功率从几十瓦直到几千瓦，工作频率从15kHz-40kHz。

超声波清洗机用的超声波发生器，有以下特点：
（1）随着清洗液深度不同，换能器共振频率和阻抗变化很大。但是实践表明，槽内放进适量清洗物后，基本上就可以稳定在某一定数值上。
（2）一般来说，由于清洗负载变动较小，可以不要求复杂的频率自动跟踪电路。
（3）实用超声波发生器，大多数采用大功率自激式反馈振荡器。